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超高純特氣雙層壓縮空氣管道施工工藝-大連麻豆影片下载科技有限公司




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    超高純特氣雙層壓縮空氣管道施工工藝

    2023-09-20
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        半導體及太陽能薄膜工藝會使用到超高純矽烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化鎢WF6、高純氨NH3等特氣，這些氣體具有易燃、劇毒、強腐蝕等特性，但卻是精密半導體電子元器件、新能源光電產品製造的必不可少的重要原料。


        壓縮空氣管道生產中若發生氣體泄漏，將會造成非常嚴重的產品質量和人身傷亡事故。為確保安全，此類高純特氣的輸送管道采用不鏽鋼雙層管道。該管道施工時，對作業環境潔淨度、管道內外管材的潔淨度、焊接和安裝質量的要求都非常高。


        常規壓縮空氣管道雙層管彎頭需定做，定做成品成本高，而且質量不易得到保證。施工中，可通過設計使用彎管裝置，現場製作彎頭，解決此加工問題。在雙層管道彎管時，於內外管間套不鏽鋼彈簧圈，作為內外管傳力物，確保彎管過程中內外管的真圓度，使彎管質量達到要求。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊，確保雙層管夾層空間距離，起到雙層管保護作用。彎管時不可取開管道兩端的封頭，彎頭成型後角度偏差不大於5°。


         半成品和成品的保護措施應及時有效，加工完成或焊接完成後及時將管子兩端密封。焊接管子對口必須為正方並緊密連接，在對口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一，連接口需在鎢極的中心位置。焊接時，按要求進行內充氬保護，控製氬氣流量大小。焊工施焊時，要求氬弧焊機焊接時電流穩定，焊接速度應保持均勻一致。


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